「空间离子棒」维护空间静电平衡,降低空间颗粒污染

时间:2021.09.13作者:

AP-DB1223空间离子棒是根据国内半导体电子等生产制造业洁净空间除尘除静电的需求,给您打造一个安全标准无尘无静电洁净环境。


适用于电子工业(半导体、集成电路等)、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)、LCD(液晶玻璃)等多行业。



  

无尘室静电产生的原因

在高科技电子产品生产厂,控制静电是提高生产效率,改善品质,增加利润的基础。在半导体、硬盘和平面显示(FPDs)的生产中,静电控制是基本的生产条件之一。如果不能控制静电就意味着产品要因静电引力造成粒子污染和静电放电而受到损伤。


产品本身和工作环境都不可避免地会使用绝缘材料,许多绝缘材料就是产品本身的组成部分。

例如,高科技产品制造中会使用含有氧化层的硅片,环氧树脂封装的半导体器件,器件引脚上的绝缘材料,环氧树脂印刷线路板,FPDs 行业中的玻璃片。此外,特氟隆、石英以及许多塑料材料具有耐高温、耐腐蚀以及与洁净室兼容的特性,但它们都是绝缘材料。接地不能消除绝缘材料上的静电荷,因此绝大多数情况下唯一的办法就是使用空气离子化进行静电中和处理。


空气离子化


“离子(Ion)”一词来源于希腊语,原为动词,是动作的意思,有旅行者的含义。作为术语使用最早是用于描述对不同的溶液通电的效果:此时分子将电离并向与自己相反的电极移动。瑞典学者S. A. Arrhenius 的理论认为移动的离子(ion)是带电荷的原子,这一理论在电子被发现后得以证实。


离子可以定义为失去电子或获得电子的原子或分子。电子是电荷转移的唯一载体。当一个原子或分子具有相同数量的电子和质子时,它的电荷是平衡的,或者说是中性的。如果失去一个电子,则该原子或分子带上正电荷,成为正离子;得到电子则成为负离子。


但是空气离子或带电荷的空气分子却不是这种情况。空气是一种混合气体,由氮气、氧气、二氧化碳、水蒸气以及其他一些微量气体组成,其中一种或几种都可以离子化。某些时候,双原子结构的气体分子,包括氮气和氧气可以获得或失去电子,化合气体如二氧化碳也能够如此。无论何种情况,当空气中一种或一种以上的气体分子获得或失去电子的时候,我们称之为空气离子化。与溶液离子不同的是空气离子化需要一定的能量才可形成。


通常情况下,未经过滤的空气,空气离子是以气体分子团形式存在的,10个中性气体分子包裹在一个带电的分子周围。带电分子可能是氧分子、水分子或氮分子。在这里我们称之为小空气离子。小空气离子会做相对运动,在遭遇相反电荷的离子或接地表面后,它们会失去电荷,又恢复为中性分子。在洁净空气中,小空气离子的寿命在几秒钟到几分钟之间。


在适当的条件下,这些离子会吸附在空气中的微粒或大的分子团上,从而形成大的空气离子。小空气离子和大空气离子的相对比例取决于空气的洁净程度。空气中数量较多的悬浮微粒会消耗小空气离子。然而,我们在静电控制中所谈的绝缘材料上的静电荷中和主要靠的是小空气离子。


AP-DB1223空间离子棒的工作原理

AP-DB1223空间离子棒使用直流高压电源,采用特制硅基,通过正、负直流高压交替作用于正、负耦合式电极针,产生电晕放电,将空气分子电离,产生大量正、负极性的空气离子,中和空间中存在的局部不平衡的静电电荷,达到高效、可靠维护空间静电平衡,减少空间内微粒附着现象,使污染微粒易于被空调净化系统滤出,降低空间内的颗粒污染的目的。

 

消电效果测试

测试标准:ANSI/ESD.STM3.1SJ/T 11446—2013

测试仪器:Trek平板电荷测试仪

测试电压:±1000V → ±100V衰减

测试环境:湿度50±5%;温度23±3

HEPA(FFU)气流速度:0.35-0.5m/s;

工作频率:5Hz




应用案例


FPC生产过程中使用安平空间离子棒来控制操作区域静电以及扬尘。


半导体生产现场使用安平空间离子棒,控制FEB内部区域静电以达到控制落尘跟随循环系统排除FEB外部


更多技术参数请电话咨询

021 6451 7928


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